（1）加氢除氧法。在催化剂作用下，普氮中残余氧和加入的氢发生化学反应生成水，其反应式：2H2＋O2＝2H2O，再通过后级干燥除去水份，而获得下列主要成份的高纯氮：N2≥99.999%，O2≤5×10－6，H2≤1500×10－6，H2O≤10.7×10－6。

　　（2）加氢除氧、除氢法。此法分三级，加氢除氧，第二级除氢，第三级除水，获得下列组成的高纯氮：N2≥99.999%，O2≤5×10－6，H2≤5×10－6，H2O≤10.7×10－6。

　　（3）碳脱氧法。在碳载型催化剂作用下（在一定温度下），普氮中之残氧和催化剂本身提供的碳发生反应，生成CO2。反应式：C＋O2＝CO2。再经过后级除CO2和H2O获得下列组成的高纯氮气：N2≥99.999％，O2≤5×10－6，CO2≤5×10－6，H2O≤10.7×10－6。